ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО РАЗРЯДА С ЧАСТОТОЙ ~200 КГЦ НА СВОЙСТВА ОСАЖДАЕМЫХ ИЗ МЕТАНА АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОКстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК