|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Электрические свойства легированных бором пленок a-Si:H, подвергнутых высокотемпературному отжигу в потоке водородатезисы доклада
- Авторы: Курова И.А., Нальгиева М.А., Ормонт Н.Н.
- Сборник: Сборник докладов , «Ломоносовские чтения-2005»
- Тезисы
- Год издания: 2005
- Место издания: Физический факультет МГУ г. Москва
- Первая страница: 52
- Последняя страница: 54
- Аннотация: В настоящей работе обнаружено, что в легированных бором пленках a-Si:H в результате высокотемпературного отжига в потоке водорода увеличивается проводимость пленок в результате смещения уровня Ферми к валентной зоне и возникает прыжковая проводимость по состояниям хвоста валентной зоны. Эти изменения электрических свойств легированных пленок обусловлены увеличением концентрации электрически активных атомов бора в отожженных пленках, т.е. увеличением эффективности легирования пленок в условиях подавления в них образования оборванных связей кремния при отжиге в потоке водорода.
- Добавил в систему: Ормонт Наталия Николаевна