In situ модификация и анализ состава и кристаллической структуры кремниевой мишени с помощью ионно-пучковых методикстатья Исследовательская статья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 21 мая 2019 г.

Работа с статьей


[1] In situ модификация и анализ состава и кристаллической структуры кремниевой мишени с помощью ионно-пучковых методик / Ю. В. Балакшин, А. А. Шемухин, А. В. Назаров и др. // Журнал технической физики. — 2018. — Т. 88, № 12. — С. 1900–1907. Метод резерфордовского обратного рассеяния (РОР) в сочетании с каналированием широко распространен в области анализа состава и структуры материалов. Представлены описание и технические параметры экспериментальной линии, предназначенной для проведения in situ ионной имплантации и спектрометрии РОР. Приведены параметры анализирующего пучка, необходимые для достижения погрешности в несколько процентов при исследовании профилей распределения примесей и дефектов. Разрешение методики было оценено при помощи спектра альфа частиц, полученных при распаде 239Pu и из РОР спектра от монокристалла кремния. Имплантация ионов Xe+ с энергией 100 keV в монокристалл кремния и РОР анализ мишеней в режиме каналирования были проведены без нарушения вакуумных условий. Были изучены профиль распределения внедренных атомов и профиль распределения дефектов в облученных монокристаллах. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть