Некоторые электрофизические свойства поликристаллических пленок алмазатезисы доклада

Работа с тезисами доклада


[1] Некоторые электрофизические свойства поликристаллических пленок алмаза / В. Б. Квасков, Д. В. Федосеев, Ю. Н. Толмачёв, В. Л. Буховец // Алмазоподобные пленки углерода. Межгосударственная конференция стран СНГ. 6 - 9 июня 1994 г. — Харьков, Ротапринт Института монокристаллов, 1994. — С. 31–31. Разработана методика осаждения наноразмерных (поликластерных)алмазных плёнок на металлы в диапазоне температур 150-300 градусов Цельсия. Основной особенностью этого метода является применение двух высоковольтных электрических разрядов. Разряд частотой 50 Гц активирует газовую среду, тогда как разряд частотой 50-200 кГц управляет потоком ионов на поверхность осаждения. Скорость осаждения - до 10 мкм / час, удельное сопротивление плёнок 10^4 - 10^10 Ом*см. в зависимости от температуры осаждения. Согласно структурным исследованиям, пленки состоят из алмазных частиц размером до 10 Ангстрем, погруженных в аморфную матрицу. Свойства плёнок определяется степенью разупорядоченности их структуры, что создаёт дополнительные степени свободы в электронной подсистеме, например, эффект переключения.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть