|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Силовые поля для молекулярно-динамического моделирования процесса напыления пленок диоксида кремниястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
- Автор: Григорьев Ф.В.
- Журнал: Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
- Номер: 6
- Год издания: 2015
- Издательство: Изд-во Моск. ун-та
- Местоположение издательства: М.
- Первая страница: 93
- Последняя страница: 97
- Аннотация: Проведено сравнение двух силовых полей, предназначенных для молекулярно-динами- ческого моделирования процесса напыления тонких пленок диоксида кремния. Проведен анализ структурных характеристик (плотность, радиальная функция распределения) кластера стеклообразного диоксида кремния, используемого в качестве подложки, и напыленной пленки. Показано, что для моделирования процесса напыления наиболее подходит силовое поле DESIL, в котором взаимодействие Ван-дер-Ваальса описывается потенциалом Леннарда-Джонса.
- Добавил в систему: Кондакова Ольга Анатольевна