Study of the properties of a Si surface layer implanted with 64Zn+ and 16O+ ions during the formation of ZnO nanoparticles under thermal annealingстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 апреля 2016 г.

Работа с статьей


[1] Study of the properties of a si surface layer implanted with 64zn+ and 16o+ ions during the formation of zno nanoparticles under thermal annealing / V. V. Privezentsev, V. S. Kulikauskas, V. V. Zatekin et al. // Surface Investigation X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. — 2015. — Vol. 9, no. 3. — P. 486–495. The cross section of a Si surface layer implanted with 64Zn+ and 16O+ ions is visualized via high-resolution transmission electron microscopy, and its evolution as a result of thermal annealing is investigated. The profiles of impurities implanted into this layer, which are measured by means of secondary-ion mass spectrometry, as well as their changes arising from heat treatment, are analyzed. The surface morphology is examined with the help of atomic-force microscopy. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть