Plasma glow intensity and target erosion depth distributions in magnetron sputterстатья

Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 апреля 2016 г.

Работа с статьей


[1] Plasma glow intensity and target erosion depth distributions in magnetron sputter / A. O. Serov, Y. A. Mankelevich, A. F. Pal, A. N. Ryabinkin // VIII International Conference on the Physics of Plasma Physics and Plasma Technology. — Kovcheg, Minsk Minsk, 2015. — P. 71.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть