Аннотация:Представлены результаты экспериментальных исследований физических эффектов в ВЧ емкостном разряде, вызванных приэлектродными электронными пучками, таких как формирование сильно неравновесного электронного энергетического спектра плазмы, возбуждение пучково-плазменных неустойчивостей, нелинейных осцилляций разрядного тока и других.