|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Исследование Si (001) подложек, подвергнутых плазменно-иммерсионно ионной имплантации He+ методом рентгеновской рефлектометриистатья
- Авторы: Ломов А.А., Мяконьких А.В., Орешко А.П., Шемухин А.А., Назаров А.В.
- Сборник: Современные методы анализа дифракционных данных и актуальные проблемы рентгеновской оптики
- Год издания: 2015
- Место издания: Великий Новгород
- Первая страница: 135
- Последняя страница: 138
- Добавил в систему: Орешко Алексей Павлович