Phase-shift at subwavelength holographic lithography (SWHL)статья

Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus

Работа с статьей


[1] Phase-shift at subwavelength holographic lithography (swhl) / M. V. Borisov, D. A. Chelyubeev, V. V. Chernik et al. // Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. — 2012. — Vol. 8352. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть