Структура приповерхностного слоя Si после имплантации ионов 64Zn+ при повышенной температурестатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Работа с статьей


[1] Структура приповерхностного слоя si после имплантации ионов 64zn+ при повышенной температуре / В. В. Привезенцев, В. С. Куликаускас, В. В. Затекин и др. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2015. — Т. 8. — С. 49–56.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть