ОПРЕДЕЛЕНИЕ СТРУКТУРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛЕНОК ДИОКСИДА КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ЛРСМА В ПРИСУТСТВИИ ТОКОПРОВОДЯЩЕГО ПОКРЫТИЯ ИЗ ВОЛЬФРАМАстатья

Работа с статьей


[1] ОПРЕДЕЛЕНИЕ СТРУКТУРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛЕНОК ДИОКСИДА КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ЛРСМА В ПРИСУТСТВИИ ТОКОПРОВОДЯЩЕГО ПОКРЫТИЯ ИЗ ВОЛЬФРАМА / С. А. СОКОЛОВ, Л. Н. СИДОРОВ, Е. А. КЕЛЬМ, Р. А. МИЛОВАНОВ // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. — 2017. — Т. 17, № 2. — С. 349–353. Разработана методика определения таких структурных характеристик тонких пленок как толщина и плотность методом ЛРСМА. Изучено влияние токопроводящего покрытия из вольфрама различной толщины на определение структурных характеристик пленок диоксида кремния. Проведено сравнение экспериментальных результатов с результатами моделирования методом Монте-Карло.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть