Аннотация:Приведены результаты исследования тонкопленочных и массивных карбонитридных материалов с использованием методов спектрометрии резерфордовского и ядерного обратного рассеяния ионов гелия и протонов, спектрометрии быстрых атомов отдачи, дифракции быстрых электронов на отражение и электронного парамагнитного резонанса