Effect of interelectrode distance on dc magnetron current–pressure characteristicsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 4 сентября 2018 г.
Effect of interelectrode distance on dc magnetron current–pressure characteristics / Y. A. Mankelevich, A. F. Pal, A. N. Ryabinkin, A. O. Serov // Journal of Physics: Conference Series. — 2018. — Vol. 946. — P. 012150. [ DOI ]