|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Простая и эффективная антенна для генерации плазмы в установках травления наноструктурстатья
- Авторы: Киреев В.Ю., Князев С.А., Челапкин Д.Г., Вавилин К.В., Двинин С.А., Кралькина Е.А., Павлов В.Б.
- Журнал: Научно-проиводственный журнал "Нанотехнологии Экология Производство"
- Номер: 6(25)
- Год издания: 2013
- Первая страница: 20
- Последняя страница: 21
- Добавил в систему: Двинин Сергей Александрович