Аннотация:Экспериментально и теоретически исследованы кинетика зарядки диэлектрических мишеней при их облучении электронами с энергией 2 - 30 кэВ. Получены зависимости величин равновесных поверхностных потенциалов и соответствующих им энергий первичных электронов от времени облучения при разных плотностях тока. Показано, что значения указанных равновесных параметров, а также характерные времена зарядки существенно отличаются от значений, рассчитанных по общепринятой модели зарядки, основанной на представлениях об эмиссии электронов из незаряженного диэлектрика. Полученные экспериментальные данные теоретически обоснованы.Results of experimental and theoretical studies of kinetics of the dielectric targets charging during their irradiation by electrons with the energy 2 - 30 keV are given. Dependences of the equilibrium surface potentials values and energies of electrons falling in the target surface from the exposure time were obtained for various current densities. It is shown that values of the specified equilibrium parameters and characteristic charging times essentially differ from the values calculated in terms of standard charging model of electron emission from non-charged dielectric. The obtained experimental data are proved theoretically.