|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Методика калибровки сканирующего оптического микроскопа ближнего поля при измерении геометрических параметров объектов в режиме квазитрениястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Кузин А.Ю., Тодуа П.А., Панов В.И., Ежов А.А., Музыченко Д.А.
- Журнал: Измерительная техника
- Номер: 9
- Год издания: 2012
- Издательство: Стандартинформ
- Местоположение издательства: М.
- Первая страница: 15
- Последняя страница: 18
- Аннотация: Продемонстрирована возможность использования дифракционной решетки, изготовленной методом лазерного фотоиндуцированного травления поверхности (001) монокристаллического InP и монотоатомных ступеней на поверхности (0001) высокоориентированного пиролитического графита в качестве эталонных объектов для калибровки сканирующего ближнепольного оптического измерительного микроскопа, работающего в режиме квазитрения.
- Добавил в систему: Ежов Александр Анатольевич