Experimental and theoretical study of RF capacitively coupled plasma in Ar–CF4–CF3I mixturesстатья

Статья опубликована в высокорейтинговом журнале

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 26 декабря 2015 г.

Работа с статьей


[1] Experimental and theoretical study of rf capacitively coupled plasma in ar–cf4–cf3i mixtures / O. V. Proshina, T. V. Rakhimova, D. V. Lopaev et al. // Plasma Sources Science and Technology. — 2015. — Vol. 24. — P. 055006. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть