In situ XPS study of interaction of thin IVA, VA metal films with native oxide on Si substrates

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

In situ XPS study of interaction of thin IVA, VA metal films with native oxide on Si substratesстатья

Информация о цитировании статьи получена из Web of Science
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 6 декабря 2018 г.

Авторы: Sushkova N.M., Akimov A.G.
Сборник: MRS Symposium Proceedings, Volume 564, Advanced Interconnects and Contacts
Том: 564
Год издания: 1999
Издательство: MATERIALS RESEARCH SOC
Местоположение издательства: 506 KEYSTONE DR, WARRENDALE, USA, PA,15086
Первая страница: 223
Последняя страница: 228
Добавил в систему: Сушкова Наталья Михайловна