Аннотация:Рассмотрены вопросы разработки и применения гибридных микроскопов, сочетающих в себе различные принципы исследования микроструктуры объектов. Предложено устройство для нанесения изолирующего покрытия на зондирующую иглу гибридного СТМ с контролем токов утечки через неизолированный кончик ее острия. Показано, что применение гибридных микроскопов повышает достоверность результатов исследований образцов.