The quantitative analysis of silicon carbide surface smoothing by Ar and Xe cluster ionsстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 4 мая 2018 г.