Аннотация:В работе представлено теоретическое описание процессов формирования протяженных тонких структур спектров энергетических потерь электронов - EELFS (EELFS – Electron Energy Loss Fine Structure), получены простые аналитические формулы для расчета EELFS спектров. Предложены методы расчетов амплитуд и интенсивностей электронных переходов различной мультипольности при возбуждении внутреннего уровня атома вещества электронным ударом и проведены соответствующие тестовые расчеты. Представлены экспериментальные M 2,3 EELFS-спектры 3d-металлов, полученные с чистых поверхностей Fe, Ni и Cu и сверхтонких стехиометрических оксидных пленок Fe 2 O 3 , NiO и CuO, а также K EELFS-спектры кислорода с тонких стехиометрических оксидных пленок. Предложены методики выделения нормированных осциллирующих частей из экспериментальных EELFS-данных, основанные на использовании расчетных интенсивностей соответствующих электронных переходов. Получены атомные парные корреляционные функции исследуемых объектов из экспериментальных EELFS-данных с учетом мультипольности процессов возбуждения внутреннего уровня атома электронным ударом. Экспериментальные результаты хорошо соответствуют известным кристаллографическим данным (парциальные межатомные расстояния, координационные числа и факторы Дебая–Валлера).