|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
МОДИФИКАЦИЯ СВОЙСТВ ITO ПЛЁНОК ИОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКОЙ ПРИ РЕАКТИВНОМ ВЧ МАГНЕТРОННОМ НАПЫЛЕНИИстатья
- Авторы: Ветошкин В.М., Крылов П.Н., Федотова И.В., Закирова Р.М.
- Сборник: Труды XXIV Международной конференции "Радиационная физика твёрдого тела"(Севастополь, 7-12 июля 2014г.)под редакцией заслуженного деятеля науки РФ, д.ф-м.н.,проф. Бондаренко Г.Г
- Серия: Радиационная физика твёрдого тела
- Год издания: 2014
- Место издания: ФГБНУ "НИИ ПМТ" Москва
- Первая страница: 426
- Последняя страница: 432
- Добавил в систему: Ветошкин Владимир Михайлович