ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Целью проекта является разработка новых высоколокальных неразрушающих методов диагностики материалов и приборных структур микро- и наноэлектроники, а также других твердотельных объектов, изготовленных по современным нанотехнологиям. В рамках проекта будут разработаны электронно-зондовые бесконтактные методы и соответствующая дополнительная аппаратура к сканирующему электронному микроскопу (СЭМ), которые позволят проводить количественную диагностику по ряду фундаментальных параметров сложных микроструктурных приборов и изделий двойного (промышленного и военного) назначений. Одновременно планируется проводить сопутствующие теоретические исследования по уточнению всех механизмов взаимодействия сфокусированных электронов средних энергий (1-30 кэВ) с однородными и многослойными тонкопленочными твердотельными средами.
1.Существенно усовершенствован электронный спектрометр - микротомограф, что позволило проводить исследования многослойных микро и наноструктур не только в режиме отраженных электронов (как было в предшествующей конструкции), но и в режиме детектирования энергетически отфильтрованных вторичных электронов. Проведены предварительные эксперименты по трехмерной реконструкции топологии поверхности микрообъектов на основе нового расчетного алгоритма. 2. Разработаны две метода определения толщин ультратонких покрытий: при детектировании интегрального коэффициента отраженных электронов с помощью оригинальных кольцевых полупроводниковых детекторов и при детектировании энергетически отфильтрованных в тороидальном спектрометре отраженных электронов. 3. Предложен и обоснован новый сценарий зарядки диэлектрических мишеней, подвергнутых электронному облучению в сканирующем электронном микроскопе. Рассмотрено влияние на основные характеристики зарядки предварительного ионного облучения, а также толщин диэлектрических пленок и углов наклона поверхности относительно направления облучающих пучков.
грант РФФИ |
# | Сроки | Название |
1 | 3 февраля 2015 г.-31 декабря 2015 г. | Разработка электронно-зондовых методов диагностики микро- и наноструктур на основе сканирующей электронной микроскопии, электронной спектроскопии и микротомографии |
Результаты этапа: | ||
2 | 1 января 2016 г.-31 декабря 2016 г. | Разработка электронно-зондовых методов диагностики микро- и наноструктур на основе сканирующей электронной микроскопии, электронной спектроскопии и микротомографии |
Результаты этапа: |
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".