|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Разработка метода нанотомографии и создание аппаратуры для измерения геометрических параметров и топологии наноструктур, скрытых под поверхностьюНИР
- Руководитель НИР: Александров А.Ф.
- Участники НИР: Евстафьева Е.Н., Иванников П.В., Манцевич В.Н., Музыченко Д.А., Орешкин А.И., Орешкин С.И., Панов В.И., Рау Э.И.
- Подразделение: Физический факультет
- Срок исполнения: 30 октября 2008 г. - 30 апреля 2011 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 01.648.12.3017
- Тип: Фундаментальная
- Приоритетное направление научных исследований: другое
- Добавил в систему: Евстафьева Екатерина Николаевна
Источник финансирования НИР
| ФЦП: Федеральная целевая программа, Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008 - 2010 годы |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 30 октября 2008 г.-31 декабря 2008 г. | Разработка метода нанотомографии и создание аппаратуры для измерения геометрических параметров и топологии наноструктур, скрытых под поверхностью |
| Результаты этапа: | ||
| 2 | 1 января 2009 г.-31 декабря 2009 г. | Разработка метода нанотомографии и создание аппаратуры для измерения геометрических параметров и топологии наноструктур, скрытых под поверхностью |
| Результаты этапа: | ||
| 3 | 1 января 2010 г.-31 декабря 2010 г. | Разработка метода нанотомографии и создание аппаратуры для измерения геометрических параметров и топологии наноструктур, скрытых под поверхностью |
| Результаты этапа: | ||
| 4 | 1 января 2011 г.-30 апреля 2011 г. | Разработка метода нанотомографии и создание аппаратуры для измерения геометрических параметров и топологии наноструктур, скрытых под поверхностью |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".