|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Разработка лабораторного стенда и элементов кластерной технологии планаризации поверхности диэлектрических материалов (сапфир, кварцевое стекло) для создания нового поколения приборов и устройств для различных отраслей промышленностиНИР
- Руководитель НИР: Черныш В.С.
- Участники НИР: Евстафьева Е.Н., Иешкин А.Е., Миннебаев К.Ф., Татаринцев А.А., Тимохин М.Ю.
- Подразделение: Физический факультет
- Срок исполнения: 1 октября 2014 г. - 31 декабря 2016 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 202/14 по физич. фак-ту
- Номер ЦИТИС: 114122340040
- Тип: Разработка
- Приоритетное направление научных исследований: Индустрия наносистем и материалов
- ПН России: Индустрия наносистем
-
Рубрики ГРНТИ:
- 47.31.29 Линейные ускорители
- 47.13.33 Электронно-ионно-плазменные технологии электронного производства
-
Ключевые слова:
планаризация, кластерные ионы, нанорельеф
- Добавил в систему: Иешкин Алексей Евгеньевич
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, НИЯУ МИФИ |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 1 октября 2014 г.-31 декабря 2014 г. | Выбор и обоснование направления исследований |
| Результаты этапа: -Выполнен аналитический обзор современной научно-технической, нормативной, методической литературы, затрагивающей научно-техническую проблему. - Проведены патентные исследования в соответствии с ГОСТ Р 15.011-96. -Разработаны и исследованы варианты возможных решений задач ПНИ и выбран оптимальный вариант. - Проведены экспериментальные работы на действующем макете ускорителя ионных кластеров для определения параметров разрабатываемых узлов: держателя сопла с системой подачи газов в вакуумную камеру, скиммера и ионизатора нейтрального кластерного пучка. - Разработано техническое задание на проектирование узлов лабораторного стенда для получения планаризованных материалов: держателя сопла с системой подачи газов в вакуумную камеру, скиммера и ионизатора нейтрального кластерного пучка. - Разработана эскизная конструкторская документация на лабораторный стенд для получения планаризованных материалов для оптоэлектроники (кварцевое стекло, сапфир). | ||
| 2 | 1 января 2015 г.-31 декабря 2015 г. | Изготовление лабораторного стенда, Проведение экспериментальных исследований |
| Результаты этапа: | ||
| 3 | 1 января 2016 г.-30 ноября 2016 г. | Изготовление экспериментальных образцов. Разработка технологического регламента, обобщение и оценка результатов исследований |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".