ИСТИНА

Анализ вещества в малых и ультрамалых объемах (локальный анализ) представляет исключительный интерес для развития фундаментальных исследований и создания новых технологий, прежде всего нанотехнологий. Одним из наиболее разработанных методов локального анализа вещества является электроннозондовый рентгеноспектральный микроанализ (ЭЗРСМА). Минимальные значения локальности для традиционного ЭЗРСМА не могут быть меньше 100 нм. Поскольку пробег электронов данной энергии в веществе определяется только атомными константами вещества, средним атомным номером и начальной энергией, он определяет физический предел уменьшения локальности. Отсюда следует, что вызывающие в настоящее время значительный интерес объекты нанотехнологий – т.е. объекты, характерный размер которых по одному или нескольким измерениям лежит в диапазоне 1 – 100 нм, не могут быть исследованы с помощью ЭЗРСМА – локальность метода оказывается недостаточной. Основная гипотеза, подлежащая проверке в ходе выполнения данного проекта, заключается в предположении, что при значительном снижении энергии электронного зонда (до 2,0 кэВ - 5,0 кэВ) удастся реализовать полную схему количественного анализа с локальностью определений 10 нм – 100 нм в результате регистрации линий с низким потенциалом возбуждения. При этом практически не сократится число определяемых элементов. В результате выполнения проекта будет создан новый метод количественного анализа наноразмерных объемов вещества – низковольтный ЭЗРСМА. Ожидаемые метрологические характеристики метода: диапазон определяемых элементов от B до Pu (возможно появление "магических" неопределяемых элементов, не более 5), предел обнаружения по массовой доле 1,0 - 0,1 %, локальность определений (по глубине и латеральная) 10 -100 нм, относительное стандартное отклонение 0,3 -0,05. Отметим, что в случае достижения нижней границы, будет реализовано рекордное значение определяемого компонента по массе – 10-21 г.