ИСТИНА

Разработка методов плазмохимического осаждения высококачественных алмазных пленок с высокой скоростью и на большой площади

результаты проведенных экспериментально-теоретических исследований и обоснованные предложения по оптимизации конструкции технологической установки для высокоскоростного плазмохимического осаждения алмазных пленок на большой площади при импульсно-периодической активации разряда

У научного коллектива имеется большой задел по экспериментальному и теоретическому исследованию высокочастотных разрядов, диагностике плазмы и изучению взаимодействия плазмы с поверхностью. На базе ряда самостоятельно разработанных исследовательских PECVD установок выполнено большое количество экспериментально теоретических работ. Коллектив активно занимается детальным исследованием различных методов диагностики плазмы, таких как: эмиссионная спектроскопия, спектроскопия поглощения, актинометрия, лазерная изображающая интерферометрия, измерение ионного тока методом модуляции автосмещения. Проведены комплексные экспериментально-теоретические исследования СВЧ разрядов в химически активных газовых смесях, используемых в технологии с диагностикой плотностей и энергетических спектров заряженных частиц, ионного состава плазмы, плотностей нейтральных радикалов в объеме плазмы При этом исследуются границы применимости соответствующих методик и оценивается возможность измерения различных плазменных параметров с привлечением математического моделирования на основе полученных экспериментальных данных. Помимо исследований процессов в плазменных реакторах, коллектив также активно занимается исследованием взаимодействия плазмы с поверхностью. Проводятся как фундаментальные исследования процессов взаимодействия плазмы с поверхностью , так и экспериментально теоретическое изучение процессов осаждения различных углеродных материалов, в частности поликристаллических, нанокристаллических, гомоэпитаксиальных и гетероэпитаксиальных алмазных пленок, а также других наноструктурированных углеродных материалов, таких как нанотрубки, нанокристаллический графит, графен. Для изучения свойств получаемых материалов, в нашем распоряжении имеются целый ряд современных диагностик. Имеющее научное оборудование обеспечивают высокое качество работ. Абсолютное большинство работ, выполненных коллективом, находится на уровне мировых достижений и имеет приоритетный характер.