|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Расчёт, разработка и изготовление по электронно-лучевой технологии оригиналов мастер-матриц нанооптических защитных элементовНИР
Numerical calculation, development and production of originals of nano-optical elements by using e-beam lithography
- Руководитель НИР: Гончарский А.А.
- Ответственный исполнитель: Гончарский А.В.
- Подразделение: 4.16.Лаборатория разработки систем автоматизации обработки изображений
- Срок исполнения: 18 апреля 2017 г. - 20 июня 2017 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 2017-04
- Тип: Прикладная
- Приоритетное направление научных исследований: Математическое моделирование, методы вычислительной и прикладной математики и их применение к фундаментальным исследованиям в различных областях знаний и в нанотехнологиях
- ПН России: Индустрия наносистем
-
Рубрики ГРНТИ:
- 27.35.35 Математическая теория дифракции
- 27.41.19 Численные методы решения дифференциальных и интегральных уравнений
-
Ключевые слова:
электронно-лучевая литография, нано-оптический элемент, дифракционный оптический элемент, обратные задачи синтеза, распознавание образов
cgh, pattern recognition, e-beam lithography, nano-optical element, doe - Добавил в систему: Гончарский Антон Александрович
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, Расчёт, разработка дизайна и изготовление по электронно-лучевой технологии оригиналов мастер-матриц нанооптических защитных элементов |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 18 апреля 2017 г.-20 июня 2017 г. | Расчёт, разработка и изготовление по электронно-лучевой технологии оригиналов мастер-матриц нанооптических защитных элементов |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".