Источник финансирования НИР
Этапы НИР
| # |
Сроки |
Название |
| 1 |
1 июля 2016 г.-30 июня 2017 г. |
Физические свойства плазмы в инновацион-ных гибридных технологических газораз-рядных системах, предназначенных для травления материалов и осаждения функци-ональных покрытий |
| Результаты этапа: |
| 2 |
1 июля 2017 г.-30 июня 2018 г. |
Физические свойства плазмы в инновацион-ных гибридных технологических газораз-рядных системах, предназначенных для травления материалов и осаждения функци-ональных покрытий |
| Результаты этапа: |
| 3 |
1 июля 2018 г.-30 июня 2019 г. |
Физические свойства плазмы в инновацион-ных гибридных технологических газораз-рядных системах, предназначенных для травления материалов и осаждения функци-ональных покрытий |
| Результаты этапа: |
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...).
После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем
выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".
