|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
«Получение алмазных поликристаллических пленок, легированных бором»НИР
Deposition of polycrystalline diamond films doped by boron
- Руководитель НИР: Рахимов А.Т.
- Участники НИР: Минаков П.В., Чеботарева А.Б., Шевнин П.Л.
- Подразделение: Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
- Срок исполнения: 21 апреля 2021 г. - 31 мая 2021 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): УС40/2021/1921730201742217000241251
- Тип: Прикладная
- Приоритетное направление научных исследований: Космическая физика
- Приоритеты и перспективы НТР Российской Федерации согласно Стратегии НТР РФ: переход к передовым цифровым, интеллектуальным технологиям
- ПН России: Индустрия наносистем
- Направление технологического прорыва России: Космические технологии, связанные с телекоммуникациями
- Критическая технология России: Технологии создания электронной компонентной базы и энергоэффективных световых устройств
-
Рубрики ГРНТИ:
- 29.27.43 Газовый разряд
- 29.27.49 Диагностика плазмы
- 29.27.51 Применение плазмы
- 89.25.43 Космическая технология и материаловедение
- Классификатор OECD: Физика жидкости и плазмы
-
Ключевые слова:
алмазные пленки, алмаз, плазмохимическое осаждение, легированный алмаз
diamond film, cvd, mwpecvd - Добавил в систему: Минаков Павел Владимирович
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, средства организации государственного сектора (608) |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 21 апреля 2021 г.-31 мая 2021 г. | «Получение алмазных поликристаллических пленок, легированных бором» |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".