Исследование высокочастотной плазмы, контролируемой электронным пучком, для новейших реакторов современной микротехнологииНИР

Investigation of electron beam controlled radio frequency plasma for new microtechnology processing reactors

Источник финансирования НИР

грант РФФИ

Этапы НИР

# Сроки Название
1 10 октября 2018 г.-31 декабря 2018 г. Исследование высокочастотной плазмы, контролируемой электронным пучком, для новейших реакторов современной микротехнологии
Результаты этапа:

Прикрепленные к НИР результаты

Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".