ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Оксид алюминия является защитным слоем для рентгеновской бериллиевой оптики от деградации под воздействием рентгеновского излучения. При это необходимо отметить, что с одной стороны, оксидный слоя алюминия - барьер для проникновения ионизированных частиц из атмосферы в бериллиевую оптику, с другой - дополнительная защита для пользователей. Поэтому, целью данной работы являлось исследование состава и толщины оксида алюминия, полученных при вариации технологических параметров.
Мишени бериллия имеют провал в спектрах резерфордовского обратного рассеяния. Что может говорить как о наличии легких элементов в бериллиевой основе, так и о поликристалличности. Для образцов показано, что стехиометрия осажденных пленок не всегда соответствует оксиду алюминия. Кроме того, по всей толщине пленки есть примеси. В каждом образце найдено несколько элементов (углерод, фтор, железо, хлор, сера и т.д.).
Хоздоговор, Хоздоговор |
# | Сроки | Название |
1 | 3 августа 2015 г.-30 сентября 2015 г. | Проведение исследований структурных свойств тонкопленочных систем на основе оксида аллюминия |
Результаты этапа: |
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".