|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Проведение исследований структурных свойств тонкопленочных систем на основе оксида аллюминияНИР
- Руководитель НИР: Шемухин А.А.
- Участники НИР: Балакшин Ю.В., Ермаков Ю.А., Назаров А.В.
- Подразделение: Отдел физики атомного ядра
- Срок исполнения: 3 августа 2015 г. - 30 сентября 2015 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 61-15
- Тип: Прикладная
- Приоритетное направление научных исследований: другое
-
Ключевые слова:
резерфордовское обратное рассеяние, защита от деградации, рентгеновская бериллиевая оптика
-
Описание:
Оксид алюминия является защитным слоем для рентгеновской бериллиевой оптики от деградации под воздействием рентгеновского излучения. При это необходимо отметить, что с одной стороны, оксидный слоя алюминия - барьер для проникновения ионизированных частиц из атмосферы в бериллиевую оптику, с другой - дополнительная защита для пользователей. Поэтому, целью данной работы являлось исследование состава и толщины оксида алюминия, полученных при вариации технологических параметров.
-
Основные результаты:
Мишени бериллия имеют провал в спектрах резерфордовского обратного рассеяния. Что может говорить как о наличии легких элементов в бериллиевой основе, так и о поликристалличности. Для образцов показано, что стехиометрия осажденных пленок не всегда соответствует оксиду алюминия. Кроме того, по всей толщине пленки есть примеси. В каждом образце найдено несколько элементов (углерод, фтор, железо, хлор, сера и т.д.).
- Добавил в систему: Шемухин Андрей Александрович
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, Хоздоговор |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 3 августа 2015 г.-30 сентября 2015 г. | Проведение исследований структурных свойств тонкопленочных систем на основе оксида аллюминия |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".