ИСТИНА

Борисов Сергей Сергеевич пользователь

Соавторы: Грачев Е.А., Babin S., Зайцев С.И., Черёмухин Е.А., Негуляев Н.Н., Ito H., Ivanchikov A., Suzuki M., Abe H., Hakii H., Hamaguchi A., Kadowaki M., Miyano Y. показать полностью..., Nishiyama Y., Yamazaki Y., Yonekura I., Зайцев С.И., Мисютина Т.С., Синицина В.Г., Устинин Д.М., Чуличков А.И., Alaverdian A.Y., Arsov T.P., Birtwhistle P., Budnev N.M., Camarasa J.M., Christophe P., Cozzi G., Kwon G., Lee C.H., Mantero A., Matison D., Mirsafatikhov R.M., Mun D.Y., Musin F.I., Negulyaev N.N., Nikolsky S.I., Novichonok A., Ocola L.E., Oh J.H., Peter Y., Platonov G.F., Shurpakov E.S., Sinitsina V.Y., Sinitsyna V.Y., Yazev S., Yoo H.W., Балануца П.В., Блошенко А.В., Болдырев А.С., Горбовской Е.С., Гресь О.А., Денисенко Д.В., Докукина И.В., Иванов К.И., Иванов Н.Ю., Крячко Т., Кузнецов А.С., Липунов В.М., Милицин В.О., Полещук В.А., Тюрина Н.В., Якимов Е.Б.

28 статей, 1 книга, 2 доклада на конференциях, 1 диссертация

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 171, Scopus: 201

IstinaResearcherID (IRID): 1560025

Деятельность

• Статьи в журналах

  • • 2013 2013 TV135
    • Borisov S., Kryachko T., Cozzi E., Camarasa J., Gerke V., Novichonok A., Mantero A., Denisenko D., Balanutsa P., Gorbovskoy E., Lipunov V., Tiurina N., Ivanov K., Yazev S., Budnev N., Konstantinov E., Poleshchuk V., Gress O., Kuznetsov A., Shurpakov S., Birtwhistle P.
    • в журнале Minor Planet Electronic Circulars, с. 3
  • 
    • 2010 Simulation of scanning electron microscope images taking into account local and global electromagnetic fields
    • Babin S., Borisov S., Ito H., Ivanchikov A., Suzuki M.
    • в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, издательство AIP Publishing (United States), том 28, с. C6C41
  • 
    • 2009 Contrast reversal effect in scanning electron microscopy due to charging
    • Abe H., Babin S., Borisov S., Hamaguchi A., Kadowaki M., Miyano Y., Yamazaki Y.
    • в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, издательство AIP Publishing (United States), том 27, с. 1039-1046
  • 
    • 2008 CHARIOT: software tool for modeling SEM signal and e-beam lithography
    • Babin S., Borisov S., Ivanchikov A.
    • в журнале Physics procedia, издательство Elsevier (United States), том 1, № 1, с. 305-313
  • 
    • 2007 EBIC measurements of small diffusion length in semiconductor structures
    • Yakimov E.B., Borisov S.S., Zaitsev S.I.
    • в журнале Semiconductors, издательство Springer (New York), том 41, № 4, с. 411-413
  • 
    • 2007 Simulation of the fluctuations of energy and charge deposited during e-beam exposure
    • Borisov S.S., Zaitsev S.I., Grachev E.A.
    • в журнале Semiconductors, издательство Springer (New York), том 41, № 8, с. 877-878 DOI
  • • 2007 Very high energy γ rays from close active galactic nuclei
    • Sinitsina V.G., Arsov T.P., Borisov S.S., Nikol’sky S.I., Musin F.I., Sinitsina V.Yu, Platonov G.F.
    • в журнале Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics, издательство Allerton Press Inc. (United States), том 7, № 71, с. 906-909 DOI
  • • 2007 Вычисления распределений по глубине энергии и заряда, выделенных при облучении мишени электронным пучком, в приближении дискретных потерь
    • Борисов СС, Грачев ЕА, Зайцев СИ
    • в журнале Прикладная физика, издательство [б.и.] (М.), № 1, с. 50-54
  • • 2006 Моделирование рассеяния электронов в тонких плёнках методом Монте-Карло в приближении дискретных потерь
    • Борисов C.C., Зайцев С.И., Иванов Н.Ю., Грачёв E.A.
    • в журнале Прикладная физика, издательство [б.и.] (М.), № 5, с. 65-67
  • • 2006 Определение параметров подповерхностных структур образца с помощью энергетического спектра вторичных электронов
    • Борисов СС, Грачёв ЕА, Блошенко А., Мисютина Т.
    • в журнале Прикладная физика, издательство [б.и.] (М.), № 3, с. 102-105
  • • 2004 Моделирование взаимодействия электронного пучка с гетерогенными средами методом Монте-Карло в приближении дискретных потерь
    • Грачев Е.А., Борисов С.С., Зайцев С.И.
    • в журнале Прикладная физика, издательство [б.и.] (М.), № 1, с. 65-73
  • • 2004 Моделирование поляризации диэлектрика в процессе облучения электронным пучком
    • Борисов С.С., Грачёв Е.А., Негуляев Н.Н., Черёмухин Е.А., Зайцев С.И.
    • в журнале Прикладная физика, издательство [б.и.] (М.), № 1, с. 118-123
  • • 2004 Моделирование поляризации диэлектрика в процессе облучения электронным пучком
    • Борисов С.С., Грачев Е.А., Негуляев Н.Н., Черемухин Е.А., Зайцев С.И.
    • в журнале Прикладная физика, издательство [б.и.] (М.), № 1, с. 118-123
  • • 2004 Моделирование процессов зарядки мишени, облучаемой электронным пучком
    • Борисов С.С., Грачёв Е.А., Зайцев С.И., Негуляев Н.Н., Черёмухин Е.А.
    • в журнале Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, издательство Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва), № 7
  • • 2004 Моделирование эффекта зарядки тонких диэлектрических пленок методом Монте-Карло
    • Борисов С.С., Грачёв Е.А., Зайцев С.И., Негуляев Н.Н., Черёмухин Е.А.
    • в журнале Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия, издательство Изд-во Моск. ун-та (М.), № 1
  • • 2002 Estimation of specimen parameters in scanning electron microscope on the basis of quantitative model of beam-solid interaction
    • Borisov S.S., Grachev E.A., Ustinin D.M., Cheremukhin E.A., Chulichkov A.I.
    • в журнале Moscow University Physics Bulletin, издательство Allerton Press (New York, N.Y., United States), том 57, № 3, с. 48-52
  • 
    • 2002 Оценка параметров мишени в РЭМ на основе количественной модели взаимодействия пучка с веществом
    • Борисов С.С., Грачёв Е.А., Устинин Д.М., Черёмухин Е.А., Чуличков А.И.
    • в журнале Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия, издательство Изд-во Моск. ун-та (М.), № 3, с. 32-35

• Статьи в сборниках

  • 
    • 2012 CD-Metrology of EUV masks in the presence of charging: measurement and simulation
    • Babin S., Borisov S., Hakii H., Nishiyama Y., Yonekura I.
    • в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, с. 844108 DOI
  • 
    • 2012 CD-Metrology of EUV masks in the presence of charging: measurement and simulation
    • Babin S., Borisov S., Hakii H., Nishiyama Y., Yonekura I.
    • в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, с. 844108 DOI
  • • 2012 CD-SEM and e-beam defect inspection of high-aspect ratio contact holes: measurement and simulation of precharge
    • Babin S., Borisov S., Kwon G., Lee C.H., Oh J.H., Mun D.Y., Yoo H.W.
    • в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering DOI
  • 
    • 2012 Challenges of SEM metrology at sub-10nm linewidth
    • Babin S., Borisov S., Christophe Peroz, Peter Yushmanov
    • в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, с. 83240T DOI
  • • 2011 VHE spectral energy distribution of Crab Nebula compared with the prediction of a synchrotron self-Compton emission model
    • Sinitsyna V.G., Alaverdian A.Y., Boldyrev A.S., Borisov S.S., Mirsafatikhov R.M., Sinitsyna V.Y.
    • в сборнике Cosmic Rays for Particle and Astroparticle Physics: Proceedings of the 12th ICATPP Conference, серия Astroparticle, Particle, Space Physics, Radiation Interaction, Detectors and Medical Physics Applications, издательство World Scientific Publishing Co (Singapore), том 6, с. 3-8
  • 
    • 2010 Comprehensive simulation of SEM images taking into account local and global electromagnetic fields
    • Babin Sergey, Borisov Sergey S., Ito Hiroyuki, Ivanchikov Andrei, Matison Dmitri, Militsin Vladimir, Suzuki Makoto
    • в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, с.  77290W-77290W-6
  • 
    • 2010 Optimizing the detector configuration for SEM topographic contrast by using a Monte Carlo simulation
    • Suzuki Makoto, Borisov S., Ito Hiroyuki, Babin Sergey;
    • в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, с. 772910-772910-7 DOI
  • 
    • 2008 Experiment, simulation of charging effects in SEM
    • Babin S., Borisov S., Miyano Y., Abe H., Kadowaki M., Hamaguchi A., Yamazaki Y.
    • в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, с. 692219-692219-7
  • 
    • 2004 Electron beam with homogeneous solids interaction simulation using Monte-Carlo method in discrete looses approximation
    • Borisov S.S., Grachev E.A., Zaitsev S.I.
    • в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, с. 144-151 DOI
  • 
    • 2004 Modeling of dielectric polarization during an electron beam exposure
    • Borisov S.S., Grachev E.A., Zaitsev S.I., Negulyaev N.N., Cheremukhin E.A.
    • в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, с. 186-193 DOI
  • 
    • 2003 Software tool for advanced Monte Carlo simulation of electron scattering in EBL and SEM: CHARIOT
    • Babin S.V., Borisov S.S., Cheremukhin E.A., Grachev E.A., Korol V., Ocola L.E.
    • в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, с. 583-590 DOI

• Книги

  • • 2006 Компьютерный практикум: моделирование методом Монте-Карло физических процессов взаимодействия нерелятивистских электронов с веществом. Учебно-методическая разработка. Выпуск 5
    • Борисов С.С., Грачёв Е.А., Докукина И.В., Мисютина Т.С.
    • место издания ООП Физического факультета МГУ имени М. В. Ломоносова Москва, 37 с.

• Доклады на конференциях

  • • 2002 Моделирование процессов формирования сигналов в датчиках электронной эмиссии растрового электронного микроскопа
    • Авторы: Борисов С.С., Черёмухин Е.А., Шамардина О.М.
    • IX Международная конференция студентов и аспирантов по фундаментальным наукам «Ломоносов-2002», Москва, Россия, 2002
  • • 2000 An advanced Monte Carlo model of electron scattering in EBL involving fast secondary and true secondary electrons
    • Авторы: Babin S., Shiriaev A., Грачев Е.А., Борисов С.С.
    • EIL-14P. Micro-and-Nano Engineering 2000, Jena, Germany, Германия, 2000

• Диссертация

  • • 2006 Моделирование методом Монте-Карло физических процессов взаимодействия нерелятивистских электронов с веществом.
    • Кандидатская диссертация по специальности 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах (физ.-мат. науки)
    • Автор: Борисов Сергей Сергеевич
    • Научные руководители: Зайцев С.И., Грачев Е.А., к.т.н., доц., МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Защищена в совете Д002.081.01 при ИПТМ РАН, Черноголовка