Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
В связи с техническими работами в центре обработки данных, возможность загрузки и скачивания файлов временно недоступна.
скрыть
отправить сообщение
Борисов Сергей Сергеевич
пользователь
Прежние места работы
(Нажмите для отображения)
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение прикладной математики
,
Кафедра математического моделирования и информатики
, 1 января 2001 - 1 февраля 2006
Соавторы:
Грачев Е.А.
,
Babin S.
,
Зайцев С.И.
,
Черёмухин Е.А.
,
Негуляев Н.Н.
,
Ito H.
,
Ivanchikov A.
,
Suzuki M.
,
Abe H.
,
Hakii H.
,
Hamaguchi A.
,
Kadowaki M.
,
Miyano Y.
показать полностью...
,
Nishiyama Y.
,
Yamazaki Y.
,
Yonekura I.
,
Зайцев С.И.
,
Мисютина Т.С.
,
Синицина В.Г.
,
Устинин Д.М.
,
Чуличков А.И.
,
Alaverdian A.Y.
,
Arsov T.P.
,
Birtwhistle P.
,
Budnev N.M.
,
Camarasa J.M.
,
Christophe P.
,
Cozzi G.
,
Kwon G.
,
Lee C.H.
,
Mantero A.
,
Matison D.
,
Mirsafatikhov R.M.
,
Mun D.Y.
,
Musin F.I.
,
Negulyaev N.N.
,
Nikolsky S.I.
,
Novichonok A.
,
Ocola L.E.
,
Oh J.H.
,
Peter Y.
,
Platonov G.F.
,
Shurpakov E.S.
,
Sinitsina V.Y.
,
Sinitsyna V.Y.
,
Yazev S.
,
Yoo H.W.
,
Балануца П.В.
,
Блошенко А.В.
,
Болдырев А.С.
,
Горбовской Е.С.
,
Гресь О.А.
,
Денисенко Д.В.
,
Докукина И.В.
,
Иванов К.И.
,
Иванов Н.Ю.
,
Крячко Т.
,
Кузнецов А.С.
,
Липунов В.М.
,
Милицин В.О.
,
Полещук В.А.
,
Тюрина Н.В.
,
Якимов Е.Б.
28 статей
,
1 книга
,
2 доклада на конференциях
,
1 диссертация
Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 171, Scopus: 201
IstinaResearcherID (IRID): 1560025
Деятельность
Статьи в журналах
2013
2013 TV135
Borisov S.
,
Kryachko T.
,
Cozzi E.
,
Camarasa J.
, Gerke V.,
Novichonok A.
,
Mantero A.
,
Denisenko D.
,
Balanutsa P.
,
Gorbovskoy E.
,
Lipunov V.
,
Tiurina N.
,
Ivanov K.
,
Yazev S.
,
Budnev N.
, Konstantinov E.,
Poleshchuk V.
,
Gress O.
,
Kuznetsov A.
,
Shurpakov S.
,
Birtwhistle P.
в журнале
Minor Planet Electronic Circulars
, с. 3
2010
Simulation of scanning electron microscope images taking into account local and global electromagnetic fields
Babin S.
,
Borisov S.
,
Ito H.
,
Ivanchikov A.
,
Suzuki M.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 28, с. C6C41
2009
Contrast reversal effect in scanning electron microscopy due to charging
Abe H.
,
Babin S.
,
Borisov S.
,
Hamaguchi A.
,
Kadowaki M.
,
Miyano Y.
,
Yamazaki Y.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 27, с. 1039-1046
2008
CHARIOT: software tool for modeling SEM signal and e-beam lithography
Babin S.
,
Borisov S.
,
Ivanchikov A.
в журнале
Physics procedia
, издательство
Elsevier
(United States)
, том 1, № 1, с. 305-313
2007
EBIC measurements of small diffusion length in semiconductor structures
Yakimov E.B.
,
Borisov S.S.
,
Zaitsev S.I.
в журнале
Semiconductors
, издательство
Springer
(New York)
, том 41, № 4, с. 411-413
2007
Simulation of the fluctuations of energy and charge deposited during e-beam exposure
Borisov S.S.
,
Zaitsev S.I.
,
Grachev E.A.
в журнале
Semiconductors
, издательство
Springer
(New York)
, том 41, № 8, с. 877-878
DOI
2007
Very high energy γ rays from close active galactic nuclei
Sinitsina V.G.
,
Arsov T.P.
,
Borisov S.S.
,
Nikol’sky S.I.
,
Musin F.I.
,
Sinitsina V.Yu
,
Platonov G.F.
в журнале
Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics
, издательство
Allerton Press Inc.
(United States)
, том 7, № 71, с. 906-909
DOI
2007
Вычисления распределений по глубине энергии и заряда, выделенных при облучении мишени электронным пучком, в приближении дискретных потерь
Борисов СС
,
Грачев ЕА
,
Зайцев СИ
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 1, с. 50-54
2006
Моделирование рассеяния электронов в тонких плёнках методом Монте-Карло в приближении дискретных потерь
Борисов C.C.
,
Зайцев С.И.
,
Иванов Н.Ю.
,
Грачёв E.A.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 5, с. 65-67
2006
Определение параметров подповерхностных структур образца с помощью энергетического спектра вторичных электронов
Борисов СС
,
Грачёв ЕА
,
Блошенко А.
,
Мисютина Т.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 3, с. 102-105
2004
Моделирование взаимодействия электронного пучка с гетерогенными средами методом Монте-Карло в приближении дискретных потерь
Грачев Е.А.
,
Борисов С.С.
,
Зайцев С.И.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 1, с. 65-73
2004
Моделирование поляризации диэлектрика в процессе облучения электронным пучком
Борисов С.С.
,
Грачёв Е.А.
,
Негуляев Н.Н.
,
Черёмухин Е.А.
,
Зайцев С.И.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 1, с. 118-123
2004
Моделирование поляризации диэлектрика в процессе облучения электронным пучком
Борисов С.С.
,
Грачев Е.А.
,
Негуляев Н.Н.
,
Черемухин Е.А.
,
Зайцев С.И.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 1, с. 118-123
2004
Моделирование процессов зарядки мишени, облучаемой электронным пучком
Борисов С.С.
,
Грачёв Е.А.
,
Зайцев С.И.
,
Негуляев Н.Н.
,
Черёмухин Е.А.
в журнале
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
, издательство
Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука"
(Москва)
, № 7
2004
Моделирование эффекта зарядки тонких диэлектрических пленок методом Монте-Карло
Борисов С.С.
,
Грачёв Е.А.
,
Зайцев С.И.
,
Негуляев Н.Н.
,
Черёмухин Е.А.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № 1
2002
Estimation of specimen parameters in scanning electron microscope on the basis of quantitative model of beam-solid interaction
Borisov S.S.
,
Grachev E.A.
,
Ustinin D.M.
,
Cheremukhin E.A.
,
Chulichkov A.I.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 57, № 3, с. 48-52
2002
Оценка параметров мишени в РЭМ на основе количественной модели взаимодействия пучка с веществом
Борисов С.С.
,
Грачёв Е.А.
,
Устинин Д.М.
,
Черёмухин Е.А.
,
Чуличков А.И.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № 3, с. 32-35
Статьи в сборниках
2012
CD-Metrology of EUV masks in the presence of charging: measurement and simulation
Babin S.
,
Borisov S.
,
Hakii H.
,
Nishiyama Y.
,
Yonekura I.
в сборнике
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, с. 844108
DOI
2012
CD-Metrology of EUV masks in the presence of charging: measurement and simulation
Babin S.
,
Borisov S.
,
Hakii H.
,
Nishiyama Y.
,
Yonekura I.
в сборнике
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, с. 844108
DOI
2012
CD-SEM and e-beam defect inspection of high-aspect ratio contact holes: measurement and simulation of precharge
Babin S.
,
Borisov S.
,
Kwon G.
,
Lee C.H.
,
Oh J.H.
,
Mun D.Y.
,
Yoo H.W.
в сборнике
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
DOI
2012
Challenges of SEM metrology at sub-10nm linewidth
Babin S.
,
Borisov S.
,
Christophe Peroz
,
Peter Yushmanov
в сборнике
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, с. 83240T
DOI
2011
VHE spectral energy distribution of Crab Nebula compared with the prediction of a synchrotron self-Compton emission model
Sinitsyna V.G.
,
Alaverdian A.Y.
,
Boldyrev A.S.
,
Borisov S.S.
,
Mirsafatikhov R.M.
,
Sinitsyna V.Y.
в сборнике
Cosmic Rays for Particle and Astroparticle Physics: Proceedings of the 12th ICATPP Conference
, серия
Astroparticle, Particle, Space Physics, Radiation Interaction, Detectors and Medical Physics Applications
, издательство
World Scientific Publishing Co
(Singapore)
, том 6, с. 3-8
2010
Comprehensive simulation of SEM images taking into account local and global electromagnetic fields
Babin Sergey
,
Borisov Sergey S.
,
Ito Hiroyuki
,
Ivanchikov Andrei
,
Matison Dmitri
,
Militsin Vladimir
,
Suzuki Makoto
в сборнике
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, с. 77290W-77290W-6
2010
Optimizing the detector configuration for SEM topographic contrast by using a Monte Carlo simulation
Suzuki Makoto
,
Borisov S.
,
Ito Hiroyuki
,
Babin Sergey;
в сборнике
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, с. 772910-772910-7
DOI
2008
Experiment, simulation of charging effects in SEM
Babin S.
,
Borisov S.
,
Miyano Y.
,
Abe H.
,
Kadowaki M.
,
Hamaguchi A.
,
Yamazaki Y.
в сборнике
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, с. 692219-692219-7
2004
Electron beam with homogeneous solids interaction simulation using Monte-Carlo method in discrete looses approximation
Borisov S.S.
,
Grachev E.A.
,
Zaitsev S.I.
в сборнике
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, с. 144-151
DOI
2004
Modeling of dielectric polarization during an electron beam exposure
Borisov S.S.
,
Grachev E.A.
,
Zaitsev S.I.
,
Negulyaev N.N.
,
Cheremukhin E.A.
в сборнике
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, с. 186-193
DOI
2003
Software tool for advanced Monte Carlo simulation of electron scattering in EBL and SEM: CHARIOT
Babin S.V.
,
Borisov S.S.
,
Cheremukhin E.A.
,
Grachev E.A.
, Korol V.,
Ocola L.E.
в сборнике
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, с. 583-590
DOI
Книги
2006
Компьютерный практикум: моделирование методом Монте-Карло физических процессов взаимодействия нерелятивистских электронов с веществом. Учебно-методическая разработка. Выпуск 5
Борисов С.С.
,
Грачёв Е.А.
,
Докукина И.В.
,
Мисютина Т.С.
место издания
ООП Физического факультета МГУ имени М. В. Ломоносова Москва
, 37 с.
Доклады на конференциях
2002
Моделирование процессов формирования сигналов в датчиках электронной эмиссии растрового электронного микроскопа
Авторы:
Борисов С.С.
,
Черёмухин Е.А.
,
Шамардина О.М.
IX Международная конференция студентов и аспирантов по фундаментальным наукам «Ломоносов-2002»
, Москва, Россия, 2002
2000
An advanced Monte Carlo model of electron scattering in EBL involving fast secondary and true secondary electrons
Авторы:
Babin S.
,
Shiriaev A.
,
Грачев Е.А.
,
Борисов С.С.
EIL-14P. Micro-and-Nano Engineering 2000
, Jena, Germany, Германия, 2000
Диссертация
2006
Моделирование методом Монте-Карло физических процессов взаимодействия нерелятивистских электронов с веществом.
Кандидатская диссертация по специальности 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах (физ.-мат. науки)
Автор:
Борисов Сергей Сергеевич
Научные руководители:
Зайцев С.И.
,
Грачев Е.А.
, к.т.н., доц., МГУ имени М.В. Ломоносова
Защищена в совете
Д002.081.01
при ИПТМ РАН, Черноголовка