Кандидатская диссертация по специальности 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники (хим. науки)
Автор:
Анурова Мария Олеговна, ФГБОУ ВО «Российский химико-технологический университет имени Д.И. Менделеева»
Научный руководитель:Петрова Ольга Борисовна, д.х.н., доц., ФГБОУ ВО «Российский химико-технологический университет имени Д.И. Менделеева»