ИСТИНА

Курчиков Константин Алексеевич пользователь

МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, ведущий специалист (инженер, геолог, геофизик, программист, технолог и т.п.), с 18 июля 2017, по совместительству

кандидат физико-математических наук с 2016 года

Прежние места работы (Нажмите для отображения)

Соавторы: Зырянов С.М., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Рахимова Т.В., Baklanov M.R., Васильева А.Н., Ковалев А.С., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Волошин Д.Г., Маслаков К.И., Chanson R., Clemente I. показать полностью..., Krishtab M.B., Lin Z., Miakonkikh A., Nigel H., Rakhlinsky V.V., Брагинский О.В., Зотович А.И., Корнев В.К., Палов А.П., Резванов А.А.

7 статей, 5 докладов на конференциях, 13 НИР, 1 диссертация

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 91, Scopus: 102

IstinaResearcherID (IRID): 5444831

Деятельность стиль:  обычный | ГОСТ | plain | abbrv | acm | alpha | amsalpha | amsplain | apalike | ieeetr | siam

---

• Статьи в журналах

  • 
    • 2018 Low-k protection from F radicals and VUV photons by multilayer pore grafting approach
    • Zotovich Alexey, Rezvanov Askar, Chanson Romain, Zhang Lin, Hacker Nigel, Kurchikov Konstantin Alekseevich, Klimin Sergey, Zyryanov S.M., Lopaev D., Gornev Evgeny, Clemente Iosif, Miakonkikh Andrew, Maslakov K.I.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство Institute of Physics Publishing (United Kingdom), том 51, № 32, с. 325202 DOI
  • 
    • 2017 Photoabsorption and damage of OSG low-k films by VUV emission at 140-160 nm
    • Lopaev D.V., Rakhlinsky V.V., Zyryanov S.M., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Kurchikov K.A., Baklanov M.R.
    • в журнале Plasma Processes and Polymers, издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany), с. e1700166 DOI
  • 
    • 2015 Interaction of F atoms with SiOCH ultra low-k films Part II: etching
    • Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Mankelevich Y.A., Kurchikov K.A., Zyryanov S.M., Palov A.P., Proshina O.V., Maslakov K.I., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство Institute of Physics Publishing (United Kingdom), том 48, № 17, с. 175204-(14pp) DOI
  • 
    • 2015 Interaction of F atoms with SiOCH ultra-low-k films: I. Fluorination and damage
    • Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Rakhimov A.T., Zyryanov S.M., Kurchikov K.A., Novikova N.N., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство Institute of Physics Publishing (United Kingdom), том 48, № 17, с. 175203-(13pp) DOI
  • 
    • 2015 Measurements of the Populations of Metastable and Resonance Levels in the Plasma of an RF Capacitive Discharge in Argon
    • Vasilieva A.N., Voloshin D.G., Kovalev A.S., Kurchikov K.A.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 41, № 5, с. 426-433 DOI
  • 
    • 2014 Low-k films modification under EUV and VUV radiation
    • Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Mankelevich Yu A., Lopaev D.V., Kovalev A.S., Vasil’eva A.N., Zyryanov S.M., Kurchikov K., Proshina O.V., Voloshin D.G., Novikova N.N., Krishtab M.B., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство Institute of Physics Publishing (United Kingdom), том 47, № 2, с. 025102 DOI
  • 
    • 2013 Modification of organosilicate glasses low-k films under extreme and vacuum ultraviolet radiation
    • Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Mankelevich Yu A., Lopaev D.V., Kovalev A.S., Vasil’eva A.N., Proshina O.V., Braginsky O.V., Zyryanov S.M., Kurchikov K., Novikova N.N., Baklanov M.R.
    • в журнале Applied Physics Letters, издательство American Institute of Physics (United States), том 102, № 11, с. 111902 DOI

• Доклады на конференциях

  • • 2015 Low-k OSG damage and etching by F atoms at lowered temperatures (Стендовый)
    • Авторы: Zyryanov S., Kurchikov K., Lopaev D., Mankelevich Yu, Palov A., Rakhimova T., Voronina E., Novikova N., Baklanov M.
    • ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
  • • 2015 Effect of VUV photons on low-k OSG damage and etching by F atoms at the lowered temperature (Устный)
    • Авторы: Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A., Lopaev D.V., Kurchikov K.A., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Baklanov M.R.
    • PESM 2015, Leuven, Бельгия, 27-28 апреля 2015
  • • 2015 Determination of the metastable and resonance excited atomic states populations in CCP Ar discharge using OES techniques.
    • Авторы: Kurchikov K.A., Kovalev A.S., Vasilieva A.N.
    • 2015 Joint ICTP-IAEA Advanced School and Workshop on Modern Methods in Plasma Spectroscopy, ICTP - Miramare, Trieste, Италия, 16-27 марта 2015
  • • 2013 Spectroscopic determination of excited atomic states populatons in CCP Ar discharge
    • Авторы: Konstantin Kurchikov, Alexander Kovalev, Anna Vasilieva, Oleg Braginsky
    • 66th Annual Gaseous Electronics Conference, Princeton, New Jersey, США, 30 сентября - 4 октября 2013
  • • 2013 1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emission (Устный)
    • Авторы: Rakhimov A.T., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Kovalev A.S., Vasil'eva A.N., Proshina O.V., Braginsky O.V., Kurchikov K., Baklanov M.R.
    • PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium), Лёвен, Бельгия, 14-15 марта 2013

• НИРы

  • • 8 ноября 2016 - 31 декабря 2018 Импульсная вч плазма для поверхностных процессов: контроль потока и энергетического спектра заряженных положительных и отрицательных частиц, ВУФ излучения и процессов возбуждения/диссоциации.
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Ответственные исполнители: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В.
  • • 16 мая 2016 - 31 декабря 2018 Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Манкелевич Ю.А. Ответственные исполнители: Зырянов С.М., Лопаев Д.В., Прошина О.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волошин Д.Г., Воронина Е.Н., Зотович А.И., Иванов А.С., Кропоткин А.Н., Курчиков К.А., Палов А.П., Сычева А.А.
  • • 1 января 2016 - 31 декабря 2018 Контроль вакуумного ультрафиолетового излучения и параметров плазмы в реакторах нового поколения для наноэлектроники.
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Ковалев А.С. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Чукаловский А.А.
  • • 1 января 2015 - 31 декабря 2022 Формирование наноструктурных объектов и их исследования спектроскопическими методами
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богацкая А.В., Богданова М.А., Васильева А.Н., Волкова Е.А., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Гаврилов А.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Персианцева Н.М., Попов А.М., Попов Н.А., Поповичева О.Б., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Серов А.О., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Тихонова О.В., Унтила Г.Г., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шкуренков И.А.
  • • 22 мая 2014 - 30 декабря 2016 Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сычева А.А., Чукаловский А.А.
  • • 1 июня 2012 - 31 июля 2015 Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Чукаловский А.А.
  • • 12 марта 2012 - 19 июня 2013 Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Палов А.П., Пащенко П.В., Пилевский А.А., Попов Н.А., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Селезнев Б.В., Сень В.В., Степанов А.С., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Ястребов А.А.
  • • 1 февраля 2012 - 30 ноября 2013 Механизм модификации нанопористых диэлектрических материалов при травлении во фторуглеродной плазме
    • Физический факультет
    • Руководитель: Зырянов С.М. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Курчиков К.А., Шкуренков И.А.
  • • 12 октября 2011 - 5 сентября 2012 Разработка катодного узла нейтрализатора заряда ионного потока энергоэффективных электроракетных двигателей малых космических аппаратов на основе автоэмиттера из нанокристаллического графита
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Пилевский А.А., Попов А.М., Поройков А.Ю., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л.
  • • 1 декабря 2010 - 15 ноября 2012 Исследование механизмов формирования выходного излучения многокатодных рентгеновских источников перспективных рентгеновских 3D-сканеров с электронным сканированием излучающей точки на основе высокоэффективных автоэмиссионных нанографитовых катодов в режиме электронной коммутации управляющих напряжений
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Пилевский А.А., Попов А.М., Поройков А.Ю., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Сень В.В., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л.
  • • 10 сентября 2010 - 31 декабря 2012 Исследование нелинейно-оптических процессов в высокоинтенсивных лазерных импульсах ультракороткой длительности для разработки методов диагностики и управления процессами со сверхвысоким временным и пространственным разрешением
    • МГУ им. М.В.Ломоносова
    • Руководитель: Попов А.М. Участники НИР: Богацкая А.В., Буренков И.А., Волкова Е.А., Гуляев А.В., Зырянов С.М., Кленов Н.В., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Манкелевич Ю.А., Попов Н.А., Рахимова Т.В., Соловьев И.И., Тихонова О.В., Харин В.Ю., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р.
  • • 28 июня 2010 - 15 декабря 2012 Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.
  • • 7 июля 2009 - 1 сентября 2011 Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Харин В.Ю., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.

• Диссертация

  • • 2015 Модификация пористых материалов с низкой диэлектрической проницаемостью под действием ультрафиолетового излучения. Контроль уровня ультрафиолетового излучения плазмы
    • Кандидатская диссертация по специальности 01.04.08 - Физика плазмы (физ.-мат. науки)
    • Автор: Курчиков К.А., к.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Научный руководитель: Ковалев А.С., д.ф.-м.н., проф., МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Защищена в совете Д 501.001.45 при МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Организация, в которой выполнялась работа: НИИЯФ МГУ

---