Кандидатская диссертация по специальности 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники (техн. науки)
Автор:
Субботин Кирилл Анатольевич, ФГБОУ ВО «Российский химико-технологический университет имени Д.И. Менделеева»