|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕпатент
- Авторы: Ивашов Е.Н., Кондрашов П.Е., Оринчев С.М., Слепцов В.В., Степанчиков С.В.
- Номер: RU 2089660 C1
- Дата публикации патента: 10 сентября 1997 г.
- Добавил в систему: Кондрашов Павел Евгеньевич