ИСТИНА

Техническое решение относится к области оптически активных сенсорных технологий, предназначенных для детектирования молекул газов или жидкостей, в том числе токсичных и взрывчатых веществ. Предложен чувствительный элемент газового сенсора на основе щелевых кремниевых микроструктур (как вариант – с наноструктурированным пористым слоем на поверхности кремниевых стенок). В основе метода детектирования молекул с помощью предлагаемого чувствительного элемента лежит эффект комбинационного рассеяния света на характерных колебательных модах молекул усиленный за счет частичной локализации света в среде с периодически модулированным показателем преломления (щелевой кремний). Дополнительное увеличение вероятности взаимодействия света с молекулами детектируемых газа или жидкости может достигаться за счет наличия развитой поверхности пористого слоя, что приводит к значительному повышению чувствительности газового сенсора. 4 ил., 1 таб.