ИСТИНА

Изобретение относится к электронно-измерительной технике и предназначено для использования в зондовом сканирующем устройстве. Сущность: способ заключается в использовании особенностей поверхности в качестве опорных точек при выполнении перемещений. Перемещения осуществляются от одной особенности к другой, расположенной по соседству. В результате образуется связанная цепочка, в которой особенности размещены относительно друг друга. Поиск, обнаружение и вычисление координат положения особенности выполняет программа распознавания. Сканируя небольшую область вокруг каждой особенности, а затем раскладывая полученные фрагменты поверхности по соответствующим позициям, определенным при распознавании, можно реконструировать реальный рельеф поверхности. Наличие информации о координатах положения особенностей вместе с механизмом привязки позволяет осуществлять прецизионное позиционирование зонда. Технический результат: повышение точности и линейности измерения рельефа поверхности, улучшение разрешающей способности прибора, а также осуществление прецизионного позиционирования зонда.