![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Изобретение относится к прецизионной измерительной технике и нанотехнологии и предназначено для использования в сканирующем зондовом микроскопе, в зондовом нанолитографе, зондовом запоминающем устройстве большой емкости. Техническим результатом изобретения является повышение точности и линейности позиционирования зонда на большой площади поверхности образца. Вначале движение выполняется посредством точного позиционера до момента достижения им границы своего диапазона. Затем производится поиск и привязка зонда к ближайшей особенности поверхности. После этого грубый позиционер выполняет перемещение в таком направлении, чтобы следующий за ним точный позиционер перемещался к противоположной границе своего диапазона. После достижения этой границы описанная выше последовательность действий повторяется циклически до момента прихода зонда в точку на поверхности, отстоящую от исходной на заданное расстояние.
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Полный текст | R._V._Lapshin_Procedure_of_movement_of_sonde_of_scanning_mi… | 366,3 КБ | 31 июля 2020 [Lapshin] |