ИСТИНА

Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии, микромеханике, робототехнике и нанотехнологии. Шагающий робот-нанопозиционер предназначен для прецизионного перемещения зонда микроскопа или исследуемого под микроскопом образца и содержит перемещаемую платформу, более трех опор и несущую поверхность, его конструктивные элементы изготовлены из материалов с малыми коэффициентами теплового расширения. Опоры расположены в углах правильных многоугольников с образованием лучей, закрепленных центральной деталью, и снабжены собственными X, Y, Z-движителями опор. На свободномконце каждой опоры выполнен выступ из алмаза, кремния или нитрида кремния для контакта с несущей поверхностью. В опоры встроены регистрирующие системы для измерения с помощью зонда рельефа несущей поверхности в месте предполагаемой установки опоры. Робот-нанопозиционер снабжен компьютером, связанным с регистрирующими системами с возможностью получения информации для распознавания и анализа измеренного рельефа несущей поверхности и выработки команд управления X, Y, Z-движителям опор. Изобретение направлено на получение малого стабильно воспроизводимого шага на гладких, шероховатых и наклонных поверхностях при сохранении неограниченного диапазона перемещения.