|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Lithographic apparatus comprising an electrical discharge generator and method for cleaning an element of a lithographic apparatusпатент
- Авторы: Rakhimova T.V., Banine V.Y., Ivanov V.V., Koshelev K.N., Moors J.H.J, Kovalev A.S., Lopaev D.V.
- Номер: United States Patent 8317929
- Дата публикации патента: 27 ноября 2012 г.
-
Реферат (описание изобретения):
A method for cleaning elements of a lithographic apparatus, for example optical elements such as a collector mirror, includes providing a gas containing nitrogen; generating nitrogen radicals from at least part of the gas, thereby forming a radical containing gas; and providing at least part of the radical containing gas to the one or more elements of the apparatus. A lithographic apparatus includes a source and an optical element, and an electrical discharge generator arranged to generate a radio frequency discharge.
- Добавил в систему: Лопаев Дмитрий Викторович