|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Способ получения тонких пленок нитрида алюминия. патент
- Авторы: Жиляков Л.А., Кириллин А.В., Костановский А.В.
- Номер: А.С. № 1716813
- Дата публикации патента: 30 декабря 1993 г.
- Добавил в систему: Жиляков Лев Альбертович