ИСТИНА

Чувствительный элемент давления с повышенной механической прочностью, содержит интегральный преобразователь давления, имеющий лицевую сторону с тензорезисторами, средствами электрических соединений и контактными площадками, объединенными в мостовую схему, и оборотную механическую сторону с тонкой гибкой симметрично выполненной квадратной кремниевой мембраной с утолщенной частью, утоненной частью и с тремя жесткими центрами квадратной кремниевой мембраны; основание, имеющее отверстие для подвода давления измеряемой среды к утоненной части квадратной кремниевой мембраны; оборотный механический упор чувствительного элемента давления, жестко связанный с утолщенной частью квадратной кремниевой мембраны интегрального преобразователя давления и с выполненной в нем полостью, а также имеющий отверстия для подвода давления измеряемой среды к утоненной части квадратной кремниевой мембраны, а также оборотный механический упор имеет симметричный крестообразный выступ, расположенный симметрично продольной и поперечной плоскостям симметрии трёх жестких центров на квадратной кремниевой мембране и с прочностью, достаточной, чтобы выдержать перегрузочное давление, превышающее критическое давление разрушения квадратной кремниевой мембраны; при этом квадратная кремниевая мембрана интегрального преобразователя давления выполнена с возможностью свободного перемещения утоненной части и трёх жестких центров квадратной кремниевой мембраны под действием номинального давления в диапазоне его изменения и контакта, по меньшей мере, одного из жестких центров с оборотным механическим упором при превышении номинального давления, то есть с зазором между тремя жесткими центрами и крестообразным выступом оборотного механического упора в 1,5-5,0 раз больше, чем свободное перемещение утоненной части и трёх жестких центров квадратной кремниевой мембраны при номинальном давлении; и лицевой механический упор чувствительного элемента давления, где все элементы чувствительного элемента давления сформированы из кремния и соединены соосно слоями легкоплавкого стекла в вакууме последовательно между основанием и оборотным механическим упором чувствительного элемента давления в области контакта соединения, а также между оборотным механическим упором чувствительного элемента давления и интегральным преобразователем давления в области утолщенной части квадратной кремниевой мембраны интегрального преобразователя давления, отличающегося тем, что лицевой механический упор чувствительного элемента давления выполнен в виде монолитной формы правильной четырёхугольной призмы, а также сформирован из кремния и соединен слоями легкоплавкого стекла, расположенных по периметру лицевого механического упора, в вакууме с интегральным преобразователем давления в области утолщенной части квадратной кремниевой мембраны интегрального преобразователя давления, где ширина слоев легкоплавкого стекла меньше, чем расстояние между контактной площадкой интегрального преобразователя давления и гранью между утолщенной частью и утоненной частью квадратной кремниевой мембраны, и длина слоев легкоплавкого стекла лежит в диапазоне от 1/2 до 3/4 размеров стороны лицевого механического упора чувствительного элемента давления, при этом размер стороны основания правильной четырёхугольной призмы лицевого механического упора чувствительного элемента давления меньше расстояния между контактными площадками интегрального преобразователя давления, но больше утоненной части квадратной кремниевой мембраны; где квадратная кремниевая мембрана интегрального преобразователя давления имеет возможность для свободного перемещения утоненной части и трёх жестких центров квадратной кремниевой мембраны вдоль оси симметрии чувствительного элемента давления под действием номинального давления, подаваемого со стороны квадратной кремниевой мембраны, в диапазоне его изменения и контакта, по меньшей мере, одного из жестких центров квадратной кремниевой мембраны с лицевым механическим упором в виде монолитной формы правильной четырёхугольной призмы чувствительного элемента давления при превышении номинального давления, за счет толщины зазора, образующего полость при заданной толщине слоев легкоплавкого стекла между интегральным преобразователем давления и лицевым механическим упором в виде монолитной формы правильной четырёхугольной призмы чувствительного элемента давления, а также между лицевым механическим упором чувствительного элемента давления и лицевой стороной интегрального преобразователя давления в четырёх углах лицевого механического упора чувствительного элемента давления, там где отсутствует соединение слоями легкоплавкого стекла, формируются отверстия для подвода давления измеряемой среды с лицевой стороны интегрального преобразователя давления.