|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Реактор для плазменной обработки полупроводниковых структурпатент
- Авторы: Павлов Г.Я., Сологуб В.А., Одиноков В.В., Бирюков М.Г., Айрапетов А.А., Павлов В.Б., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Петров А.К., Кралькина Е.А., Вавилин К.В., Карпенкова Е.В., Гусева Н.Б.
- Номер: 2670249
- Дата публикации патента: 19 октября 2018 г.
- Добавил в систему: Кралькина Елена Александровна