|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Плазмохимический реактор баррельного типапатент
- Авторы: Киреев В.Ю., Ковалевский В.Л., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
- Номер: Пат. РФ № RU2024990 C1, 5H01L 21/302, 1992
- Дата публикации патента: 23 марта 1992 г.
- Добавил в систему: Якунин Валерий Георгиевич