МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники

Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологииподразделение

Работы, добавленные за последние 2 недели версия для печати

11 Авг 2022 Effect of an electron beam on a dual-frequency capacitive rf plasma: experiment and simulation Bogdanova Maria, Lopaev Dmitry, Zotovich Alexey, Proshina O.V., Rakhimova T.V., Zyryanov S.M., Rakhimov A.T.
11 Авг 2022 On electric field measurements based on intensity ratio of 1- and 2+ systems of nitrogen in discharges with high specific deposited energy Lepikhin N.D., Popov N.A., Starikovskaia S.M.
01 Авг 2022 Polarization and frequency-controlled amplification in a nonequilibrium plasma in the presence of an external magnetic field Bogatskaya A.V., Volkova E.A., Popov A.M.
Перейти на страницу подразделения