|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronicsжурнал
Индексирование:
нет
Период активности журнала:
не указан
- Добавил в систему: Руденко Константин Васильевич
Статьи, опубликованные в журнале
-
- 2019 Comprehensive analysis of field-electron emission properties of nanosized silicon blade-type and needle-type field emitters
- Demin G.D., Djuzhev N.A., Filippov N.A., Glagolev P.Y., Evsikov I.D., Patyukov N.N.
- в журнале Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics, том 37, № 2
-
- 2017 Cryogenic etching of porous low-k dielectrics in CF3Br and CF4 plasmas
- Rezvanov Askar, Miakonkikh Andrey V., Vishnevskiy Alexey S., Rudenko Konstantin V., Baklanov Mikhail R.
- в журнале Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics, том 35, № 2, с. 021204 DOI